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陸自製 EUV 預定第3季試產 經濟日報 編譯陳苓/綜合外電 https://money.udn.com/money/story/5599/8601538 消息人士透露,中國大陸研發出自家的極紫外光(EUV)微影設備,採用與荷蘭半導體設 備製造巨擘艾司摩爾(ASML)不同的技術,設計更簡單、更有效率,預定今年第3季試產 ,明年量產。倘若消息為真,意味中國在突破美國科技管制上,邁出大步。 科技媒體wccftech報導,據@zephyr_z9和@Ma_WuKong在X平台的發文,華為正在廣東東莞 工廠測試新設備,這款客製化EUV機台,採用「雷射誘導放電電漿」(LDP) 技術,預計 今年第3季試產,並可能在明年實際放量生產。 陸製機台採用的LPD技術,能生成波長為13.5奈米的EUV光,作法是將電極間的錫汽化,再 透過高壓放電將其轉成電漿,並用電子離子的碰撞,產生所需波長。這種作法與ASML不同 ,ASML使用「雷射產生電漿」(LPP)技術,仰賴高能量雷射與複雜的可編程閘陣列控制 。據試產報告,陸製原型機的設計更小更簡單,用電量較少、製造成本也較低。 ASML受限於美國禁令,無法出售最先進的EUV給陸廠,中芯只能仰賴深紫外光(DUV)設備 ,DUV波長達193~248奈米,遠遠不及EUV的13.5奈米。中芯要製造先進製程晶片,得要重 複曝光,這不只提高了晶圓生產成本,也相當費時。外界估計中芯的5奈米晶片,生產成 本比台積電(2330)的5奈米貴了50%。 受此影響,華為的麒麟處理器仍停留在7奈米。如果中國真能打造出EUV機台,華為將可縮 小與蘋果、高通等的差距。 ASML是全球唯一的EUV生產商,每部機台有超過10萬個零件。目前還無法確認爆料者說法 的真實性,而EUV開發不易,陸廠的進展也可能會有更多阻礙。 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 59.129.113.197 (日本) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Gossiping/M.1741777012.A.711.html
xzcb2008: 不可能那麼快如果真的林北剁懶叫 36.232.203.170 03/12 18:57
wamng: 有人要崩潰惹,嘻嘻 185.248.184.1 03/12 18:57
tewcom200: 啊以前不是一直吹EUV十年都做不出來,220.138.126.163 03/12 18:58
geniusw: 看看效果如何 114.25.157.28 03/12 18:58
tewcom200: 現在看起來也還好啊220.138.126.163 03/12 18:58
Hina: 大概是新凱來 這間公司 114.47.146.236 03/12 18:58
yj77885544: 中國雄起 223.137.46.110 03/12 18:59
scott0118: 就算euv 光源解決 反射鏡也沒那麼容易 180.217.233.95 03/12 19:00
scott0118: 吧 euv也不是用一般的鏡子可以反射的 180.217.233.95 03/12 19:00
scott0118: 會被一般鏡子吸收掉吧 乾五摳寧 180.217.233.95 03/12 19:00
locdan: LDP技術有人懂嗎?懂的再來評論啦 223.118.50.115 03/12 19:00
DustToDust: 人家用國家力量在做的 灣灣還在殺豬公 122.118.131.63 03/12 19:00
locdan: ,不懂是要說什麼雞毛 223.118.50.115 03/12 19:00
Xaymaca: 放心啦 跟你賭 100%會爆炸 50.92.37.83 03/12 19:00
perlone: 八卦又高興起來了 101.138.36.154 03/12 19:01
edison901: 聯電 10根 101.10.92.164 03/12 19:01
edison901: 往下 101.10.92.164 03/12 19:01
soarling: 艾斯摩爾:幹 沒辦法遠端關機了 36.224.75.57 03/12 19:02
Hina: 這後面就 公家 華為合資的 114.47.146.236 03/12 19:02
Warnerting: 已放空ASML 86.48.12.5 03/12 19:03
mic73528: 遙遙領先 雙贏就是支那贏兩次 114.136.84.17 03/12 19:05
lipstick: 加油!!!!祖國 幹翻黃仁勳 36.224.83.168 03/12 19:07
yycbr: 老路判斷追不上去 但新路就難說了 62.192.175.187 03/12 19:08
Brioni: 蔡司在中國有廠,但能做到什麼程度未知114.136.249.228 03/12 19:10
looks143895: 漂亮 49.216.90.147 03/12 19:10
patrick08: 美國國家力量極限施壓 還殺不了一間華 111.71.54.230 03/12 19:11
patrick08: 為 不丟臉嗎 111.71.54.230 03/12 19:11
Brioni: 光源、光路鏡、光罩、光阻,這四件套對岸114.136.249.228 03/12 19:12
Brioni: 都有在投入,其中難度最高是高強度光源114.136.249.228 03/12 19:12
yoshilin: 是不是真的,只能等了,不過中芯漲超多 223.23.62.140 03/12 19:12
yoshilin: 了 223.23.62.140 03/12 19:12
Brioni: 但是有原型機跟能上產線還是有差114.136.249.228 03/12 19:12
POWERSERIES: 等著看啊,祖國會把先進製程做到爛大 39.9.102.238 03/12 19:13
POWERSERIES: 街 39.9.102.238 03/12 19:13
oxygen366: 有什麼不可能?deepseek 49.217.201.212 03/12 19:13
Brioni: 可能還要1~2年驗證生產成果跟潛力114.136.249.228 03/12 19:13
Brioni: 真的能量產又還要在製造商那邊1~2年校驗114.136.249.228 03/12 19:14
moonaya: 開捲111.254.205.149 03/12 19:14
wamng: 光源去年哈工大euv光源獲得突破並獲得大獎 185.248.184.1 03/12 19:15
Brioni: 這種新聞先看看就好114.136.249.228 03/12 19:15
saiboos: 先進製程! 122.99.40.82 03/12 19:15
gk1329: 丸囉 白菜價 110.28.25.98 03/12 19:17
lucky360: 如果華為比Nikon Canon先做出來就蠻強的 61.230.57.146 03/12 19:18
iLeyaSin365: 呵呵呵,真的嗎?哈哈哈 哇 真的嗎 111.82.32.31 03/12 19:21
iLeyaSin365: ? 111.82.32.31 03/12 19:21
ccufcc: 讚讚讚,移民了 27.51.33.187 03/12 19:21
iLeyaSin365: 幾奈米?哇 真的嗎? 111.82.32.31 03/12 19:21
blueskyqoo: 超英趕美了223.136.241.112 03/12 19:22
Lowpapa: 反觀台灣完全沒研發能力223.136.176.187 03/12 19:22
jasonsu449: 中國科研人才多,要發展什麼美國已經 222.250.87.30 03/12 19:23
jasonsu449: 擋不住了 222.250.87.30 03/12 19:23
ballby: 中國還要感謝川普拜登 沒他們倆 現在繼續 61.219.217.215 03/12 19:23
OK8066889: 唬爛嘴砲成分居多 203.190.16.128 03/12 19:24
ballby: 用國外的技術 61.219.217.215 03/12 19:24
woo5566: 你有見過高階DUV還做不出就做出EUV來的 39.12.152.143 03/12 19:25
woo5566: 嗎? 39.12.152.143 03/12 19:25
PRME: 鳥又崩 36.226.80.139 03/12 19:27
picacuo: 看到各行各業很多都被大陸打趴,我相信是 111.82.27.158 03/12 19:28
picacuo: 真的 111.82.27.158 03/12 19:28
Roxsoulee: 我覺得遲早會讓他們成功的223.137.140.242 03/12 19:29
eddie0912: 先喊就贏了XD 118.169.138.79 03/12 19:29
vow70: 生命會自己找到出路 23.106.248.251 03/12 19:33
kerorobear: 13奈米,基本上就通吃成熟製程了~屌喔 114.36.213.188 03/12 19:34
resque45: 咚咚咚 咚呲搭呲 咚咚咚咚 啊啊啊啊啊啊 49.218.231.58 03/12 19:34
resque45: 啊啊 (大國崛起 49.218.231.58 03/12 19:34
ad1339: 遲早會做出來啦,但今年的話有點唬爛吧= = 220.135.183.99 03/12 19:36
Windk610i: 祖國又要遙遙領先 111.242.118.14 03/12 19:37
kevin31a2: 偷到了 111.71.69.35 03/12 19:45
newrider: 這速度唬爛了吧 36.235.145.82 03/12 19:46
RodrigueZ810: 八卦士氣大振 114.44.43.53 03/12 19:46
vampirelin: 遲早做出來,技術封鎖最後只會從其他 1.200.254.154 03/12 19:46
vampirelin: 地方突破 1.200.254.154 03/12 19:46
itsforte: EUV不是光源而已…. 42.71.31.148 03/12 19:47
kingkiller: 大家可以繼續唱衰中國啊 他們真的強大 223.23.68.216 03/12 19:49
phoenix1017: 我覺得有點像黑神話,先放個消息吸 101.12.26.135 03/12 19:49
phoenix1017: 引更多人才加入,畢竟第一個做出來 101.12.26.135 03/12 19:50
phoenix1017: 的直接財富自由 101.12.26.135 03/12 19:50
Oodoon13: 我拔草測個風向 49.159.2.174 03/12 19:56
retrud: 美爹太廢 技術封鎖都幾年了 自己先垮223.137.158.143 03/12 19:58
gunfighter: 無所謂了啦 都變美積電了 看中美唱戲 223.138.171.2 03/12 20:02
gamania5972: 中又贏,遙遙領先,嘻嘻111.250.102.210 03/12 20:08
Guondamflam: 坐等中國統一地球。223.137.140.117 03/12 20:12
a386036: 最後一定說成功做出0.7奈米 111.241.77.35 03/12 20:17
sunny8757: 感覺唬爛 但14億人 早晚跟得上 1.200.97.61 03/12 20:22
mangle: 相似但不同路徑的光源邏輯 114.136.37.96 03/12 20:24
polo5615: 全世界吃土吧 泱泱大國包山包海 114.136.134.29 03/12 20:28
ads80531: 政黑還在嘴砲手刻晶圓吧 我們要警惕220.129.141.172 03/12 20:30
Janma: 中國的先看看就好啦118.168.218.179 03/12 20:35

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