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原文標題:生產3奈米晶片!陸半導體技術重大突破「不同於ASML」 ※請勿刪減原文標題 原文連結: https://bit.ly/4hIRq3A ※網址超過一行過長請用縮網址工具 發布時間: 12:232025/03/25 工商 賴瑩綺 ※請以原文網頁/報紙之發布時間為準 記者署名: 12:232025/03/25 工商 賴瑩綺 ※原文無記載者得留空 原文內容: 大陸快科技報導,中國科學院研發除了突破性的固態DUV(深紫外線)雷射,可發射193nm的 相干光,與目前主流的DUV曝光波長一致,能將半導體製程推進至3nm。 據悉,ASML、佳能、Nikon的DUV光刻機都採用了氟化氙(ArF)準分子雷射技術,透過氬、 氟氣體混合物在高壓電場下生成不穩定分子,釋放出193nm波長的光子,然後以高能量的短 脈衝形式發射,輸出功率100-120W,頻率8k-9kHz,再透過光學系統調整,用於曝光設備。 中科院的固態DUV雷射技術完全基於固態設計,由自製的Yb:YAG晶體放大器產生1030nm的雷 射,在通過兩條不同的光學路徑進行波長轉換。之後,轉換後的兩路雷射透過串級硼酸鋰( LBO)晶體混合,產生193nm波長的雷射光束。 最後獲得的雷射平均功率為70mW,頻率為6kHz,線寬低於880MHz,半峰全寬(FWHM)小於0. 11皮米(千分之一奈米),光譜純度與現有商用準分子雷射系統相當。基於此,可用於3nm 的製程節點。 報導稱,這種設計可以大幅降低微影系統的複雜度、體積,減少對於稀有氣體的依賴,並大 幅降低能耗。 報導指出,這種全固態DUV光源技術雖然在光譜純度上已經和商用標準相差無幾,但是輸出 功率、頻率都還低很多。對比ASML的技術,頻率達到了約三分之二,但輸出功率只有0.7% 的水平,因此仍然需要繼續迭代、提升才能商用。 心得/評論: 每次看中時集團的新聞都覺得好好笑 標題很會下生產3奈米? 內文193nm DUV ~只能生產65nm好嗎? 要搭配immersion 才能做40nm以下到7nm 你光能量只有ASML的0.7%,到底樣泡水裡面? 笑死人 ※必需填寫滿30正體中文字,無意義者板規處分 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 101.138.20.95 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Stock/M.1742887200.A.578.html
angeltear15 : 吹起來 03/25 15:20
fbiciamib123: 中又贏 03/25 15:21
cityhunter04: 之前都手刻5奈米了,3奈米算什麼? 03/25 15:21
kobebrian : 為啥可以下這個標題? 03/25 15:21
stanleyplus : 中又贏麻 03/25 15:22
Jaline5566 : 中國又在吹了 03/25 15:22
ohya111326 : 中國哪次不成功 03/25 15:22
n3688 : 開頭先寫明中時 可以節省很多人時間 03/25 15:23
Gipmydanger : 讚喔又贏了 03/25 15:23
imlucky : 涼綠呢? 03/25 15:23
chou3321 : 鍾幼瑩 03/25 15:24
fat980 : 深淵大突破 03/25 15:24
southpeace : 騙我時間 03/25 15:24
edward198791: 喔是喔 03/25 15:25
bestbaseball: 不懂的人會以為很屌啊 03/25 15:26
b455104 : 這種文一出鹿港就是至少緩跌半年 03/25 15:26
raku : 笑死 實驗室生產 有屁用 連良率都沒有的製程 03/25 15:27
squelch : 結果還是不能用 03/25 15:27
elmo0155 : 中時的 03/25 15:28
pimday : 拜託你快點傾全國力量去做 有多少做多少 03/25 15:28
hpk89 : 前面吹完嚇死人,後面一看0.7%笑死人 03/25 15:28
jyan97 : 0.7%== 03/25 15:29
hihi29 : 東升西降 中國或成最大贏家 03/25 15:30
adwn : 贏麻了 03/25 15:32
fantasyscure: 良率呢? 03/25 15:32
jei01 : 三星和Intel連拿到EUV也作不出像樣的東西來 03/25 15:32
win8719 : 最後一句是重點~不能商用 03/25 15:32
jei01 : 你想追上還早 03/25 15:32
pkmu8426 : 反正已經是中美的事 跟台無關惹 03/25 15:33
Lowpapa : 反觀 03/25 15:33
c41231717 : 記者只要抄文章了事就好了 真正的薪水小偷 03/25 15:34
gtaped05550 : 有沒有陸吹 快點出來吹 我來笑 03/25 15:34
ajkofqq : TSMC DIE! 03/25 15:35
aaa80563 : 丸子 買些台G壓壓驚 03/25 15:36
OSDim : 這是好事,多浪費一點電啊嘻嘻 03/25 15:37
hrml : 智障新聞 03/25 15:37
suzu1 : 難怪台積電一直崩,原來早知道了 03/25 15:37
knifeking : 良率?繼續吹 03/25 15:38
bior1234 : 雷射平均功率70mW XDDD 03/25 15:38
jeter8695 : 讚 習近平趕快補助中芯多買一點 03/25 15:39
HsihHan : 東升西降 以太平洋來看 03/25 15:39
junior020486: 好了啦,七奈米良率先起來再說 03/25 15:40
fywei : 為什麼要一直發智障新聞 03/25 15:41
ahong88105 : 還笑的出來啊… 03/25 15:42
walker6765 : 我大中國不是早量產ㄧ奈米了? 03/25 15:42
soon55555 : 你只能相信有東方神秘力量 03/25 15:43
jvor0719 : 永遠成功 每失敗過 好神話的民族 03/25 15:43
BY1326 : https://i.imgur.com/FKAxchN.jpeg 03/25 15:43
stjerry0303 : 不是3米嗎? 03/25 15:43
ahong88105 : 這是國際光電協會SPIE發的新聞 03/25 15:44
ahong88105 : https://i.imgur.com/QxW2ZqZ.jpeg 03/25 15:44
CTTSAI : 文組… 03/25 15:44
ahong88105 : https://reurl.cc/rEg0nk 03/25 15:45
david3033 : 現實中 越會吹的 越沒有自信 看看三星 03/25 15:45
losage : 這是工商日報耶… 03/25 15:46
alexxyang : 太強啦祖國 麻煩小米oppo別再用美麗國高通了好嗎 03/25 15:46
ahong88105 : 這篇寫的比較詳細 03/25 15:46
losage : 不是,原來是中國時報… 03/25 15:46
alexxyang : 灣灣製的高通晶片到底有啥好 03/25 15:47
nady0953 : 十年前的技術.. 03/25 15:48
yuuu9 : 神速 這樣要世界第一遲早的事 03/25 15:48
instill8 : 聯合重工系統 03/25 15:49
zxc89003 : 贏麻了 03/25 15:49
zalasas39 : 彎道超車 厲害了 03/25 15:51
JerryLian : 低頻光怎麼轉高頻光? 03/25 15:55
Ayasaki0916 : 真的贏麻了 03/25 15:55
ketter : 別說了 我們繼續找白手套買台積電晶片 03/25 15:55
atk0069 : 70mW…… 03/25 15:56
k1k1832002 : 應該是混著講了,3奈米大概是看華為專利來的 03/25 15:56
alphish : 但是5年之內要小心就是了 到時GG 3000不知道穩嗎 03/25 15:57
yuebin : 迭代到能3奈米商用,ASML都不知道已經0.幾奈米了 03/25 15:57
bairn : 搖搖領先,雙贏 03/25 15:58
mainsa : 別家用超過20年的技術現在才弄到0.7%能量還能蝦吹 03/25 15:59
mainsa : 有時候覺得支吹很容易滿足 03/25 15:59
Roger5566 : 遙遙領先喔 03/25 16:00
Like5566Like: 獨門秘技就是找白手套跟GG下單 03/25 16:04
ifay : 台積電是不是有人跑去技轉 03/25 16:05
F20V : 中國或成最大贏家 03/25 16:07
F20V : 中時、聯合報不知道拿了共產黨多少錢,整天吹中國高 03/25 16:08
F20V : 大上 03/25 16:08
sonyvaio : 甘五口林 03/25 16:11
TRIGUNKING : 閱~ 03/25 16:11
mccloud : 哇 中時 03/25 16:12
mccloud : 總裁蔡衍明表示,媒體的責任,講求一個「真」 03/25 16:12
chienk : 根本就是內耗。 03/25 16:12
devifuqi : 雙贏 贏兩次 03/25 16:13
k798976869 : 手刻晶片 繼續騙補助 03/25 16:14
dwood123 : 只有0.7%的功率為何叫重大突破? 03/25 16:15
DL3 : 三奈米良率0.1%?這樣能幹嘛? 03/25 16:16
davidtoldyou: 祖國偉哉吹起來 03/25 16:16
FXW11314 : 70mW是雷射筆喔… 03/25 16:16
hamnett17th : 一定是手刻晶片 03/25 16:19
noirskakashi: 去年不是要搞光刻廠 03/25 16:20
mumuwei : 還以為是手刻進度到3奈米了 03/25 16:21
WTF55665566 : 大媽手刻或成最大贏家 03/25 16:21
guowei616 : 這新聞我看好幾年了 03/25 16:24
ts0045851127: 這不是很久以前的技術嗎 03/25 16:30
ETTom : 新聞一堆爛標題不是第一天了 有傾向的新聞幾乎都會 03/25 16:32
dbdudsorj : 中國一定強 中國一定強 一起唱!! 03/25 16:36
river98 : 急了 03/25 16:39
gfsog : 哦哦哦真的假的,原來是中屎報系 03/25 16:41
scott67871 : 支或淫 03/25 16:42
zsquarez : 是喔是喔真都假都 03/25 16:45
kentin : 反正習包子也不懂能騙補助就好 03/25 16:46
alin1028 : 中時食屎 03/25 16:48
Cyslot : 先量產再說吧... 03/25 16:49
uxy82 : 詐騙新聞zzz 03/25 16:53
baboosh : 笑死 反正全靠吹 03/25 16:56
snoopyboy123: 老師傅手工奈米級芯片是吧 03/25 16:57
j3 : 70mW 還差1000倍 03/25 16:59
saladbread : 彎道超車 03/25 17:01
mynewid : 手刻早就發展出來了 03/25 17:03
painvano : 叫deepseek先用啊 不要向輝達買 03/25 17:06
Roger1015 : 手刻晶片 03/25 17:11
s06i06 : 問就是中又贏 03/25 17:12
q22w : 0.7% XDDDDDD 03/25 17:21
eelse : 繼續騙補助 03/25 17:22
boy1031 : 去用百倍價買台積電2奈米,再磨字,萬倍價跟共慘要 03/25 17:31
boy1031 : 補助,就搞定 03/25 17:31
NEWinx : 無法商用也先吹再說,這很中國 03/25 17:34
Jeff1989 : 不曉得離商用階段還要多久 03/25 17:39
chungj : 中時日常 03/25 17:51
exrana : 呼呼呼 03/25 17:53
pt993526 : 難怪鹿港大漲 03/25 17:54
chaojune : 笑死 03/25 17:56
curlymonkey : 彎道超車 開卷 03/25 18:05
ActionII : 0.7趴的功率0.0? 03/25 18:12
ActionII : 這樣要商用是不是只能力大磚飛 03/25 18:13
u327825 : 唐湘聾吹好幾天了,我聽到笑到流眼淚 03/25 18:19
ttgg : 統戰新聞台不必看 03/25 18:26
s213092921 : 麒麟9020都追上台積電5nm了,下一次就是追上3或4nm 03/25 18:33
amigowei : 研發最新最利最高科技的美工刀 03/25 18:38
acswat : 太牛逼了 03/25 18:38
eriker : 中時 03/25 18:42
Rutschman : 中屎的日常 03/25 18:48
mecca : 肯做肯試推 03/25 18:48
inoran54787 : 看到中時就先打1折 03/25 18:59
zsp8084 : 又贏 03/25 19:01
ai86109 : 中國又贏了 03/25 19:11
bifox : 快科技哪根蔥 03/25 19:21
assian : 是30年老師傅施工的嗎? 03/25 19:24
talentsu : 小熊維尼國不是已經0.3奈米了嗎? 03/25 19:28
wilson5938 : 爻爻領先 03/25 19:29
fastfu : 沒藥醫 03/25 19:31
a524528 : 可以用在3奈米這句話本身就很有趣 03/25 19:43
a524528 : 因為3nm還是需要些比較舊的機型 03/25 19:43
ian41360 : 0.7%…水就吸收了吧 03/25 19:52
harddriver : 貼牌 03/25 19:57
linuxpi : 詐騙之國 03/25 20:07
awss1971 : 不吹不黑...中必贏 又贏 雙贏 贏兩次 贏麻了!! 03/25 20:07
imba789 : 搖搖領先 03/25 20:10
l835566 : 準分子雷射很久了...講得很潮一樣 03/25 20:24
BrianTN17 : 吹幾次了?十五年前就說超越臺雞雞 03/25 20:34
zick8932511 : 全世界研發都贏不了中國 03/25 20:37
edison3333 : PTT有再酸葡萄了 03/25 20:44
gn01924077 : 70mW…throughput會很慘… 03/25 20:52
ggiccggicc : 100台同時用不就70%? 200台140% 贏麻了 03/25 21:00

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